什么是mems传感器?类型,应用程序

在本教程中,我们将了解一个名为MEMS的有趣技术。亚博彩票下载我们将看到MEMS的一些基本概念,并且还要看看MEMS传感器形式的MEMS的应用。我们还将了解不同类型的MEMS传感器和亚博彩票下载一些当前应用程序。

什么是mems?

MEMS对于微电机械系统短路。它是一种与传感器,换能器,执行器,齿轮,泵,开关等的微观设备的制造相关的技术。

换句话说,MEMS是微观集成装置,其是电子,电气和机械元件的组合,所有代表都使用称为MicroSystems技术(MST)的技术为单一功能要求。亚博最新官网网址

MEMS技术被认为是一种扩展的传统集成电路(IC)制造。传统IC制造技术(VLSI)和MEMS之间的主要区别是,使用MEMS您不仅可以制造电容器和电感器等电气部件,而且使用传统的IC技术等机械部件,如齿轮,弹簧,梁等。您只能制造导体,绝缘体,二极管和晶体管。

MEMS传感器特色图像

这些基于MEMS的设备的尺寸通常为少量少量(1至100微米)。

要记住的另一个重要点是MEMS是在高级IC制造技术的帮助下将主动和被动部件的集成到单个硅衬底中。主动部件是传感器和致动器,而无源部件是被动电子系统和被动机械系统。

由像放大器,ADC,滤波器等的信号处理电路组成的电子系统使用IC制造工艺设计,而使用微机械工艺设计了由齿轮,曲柄,轴承等组成的机械系统。

什么是mems传感器?

传感器是当今数字世界的重要组成部分之一。由于在数字信号上完成了所有计算和处理,因此模拟世界和数字电子之间应该存在介质。亚博最新官网网址传感器桥接这个差距,因为它们用于观察模拟物理参数的时间效果并产生有意义的信息(到计算机)。

传感器的现代定义有时令人困惑,但在简单的单词中,传感器是一种装置,该装置包含基本的感测元件,这些元件感测物理量,如温度或湿度,并将其转换为电信号。传感器还包括像放大器,滤波器或ADC的信号处理单元或这些元素的组合。

如果使用MEMS技术设计和制造传感器,则来到MEMS传感器,则它被称为微机械型微传感器或简称MEMS传感器。

如果你记得我们的手势控制机器人,我们使用了MPU6050 IC。它包含3轴加速度计,3轴陀螺仪和数字运动处理器。它是使用MEMS技术制造的。

不同类型的MEMS传感器

MEMS技术的主要实施者之一是汽车行业。现代汽车使用大量传感器,大多数是基于MEMS的设备。以下是现代汽车中使用的MEMS传感器列表。

  • 加速度计 - 用于电子稳定控制和安全气囊部署。
  • 惯性测量单元或IMU(它们是MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的组合) - 用于测量自主驱动的偏航,俯仰和卷。
  • 磁力计 - 导航中使用的方向。
  • 压力和惯性传感器 - 制动控制。
  • 压力传感器 - 轮胎压力监测系统。
  • 气流传感器 - 进气监控。
  • 燃料传感器 - 燃油电平指示灯。
  • 冲击和碰撞传感器 - 影响检测和安全气囊部署。
  • MEMS麦克风 - 用于通信和噪声消除。
  • 温度传感器 - 用于自动气候控制和发动机温度监测。
  • 各种应用程序有许多其他基于MEMS的设备。

应用程序

MEMS传感器已经用于各种应用,如控制和处理设备,管理机器人,汽车,夹具等。您可以在现代喷墨打印机,彩色投影仪,显示系统,钟表和扫描设备中找到这些传感器。

MEMS技术用于制造不同的传感器,如压力,温度,振动和化学传感器。

加速度计,陀螺仪,电子罗盘等是汽车,直升机,飞机,无人机和船舶中的一些常用的MEMS传感器。

下面提到了基于MEMS的传感器的应用程序的一些部门:

  • 汽车
  • 化学和制药
  • 飞机
  • 工业自动化与制造业
  • 防御,空间和航空
  • 环境和健康科学
  • 计算和通信
  • 消费产品

概括

将传感器,执行器,电气(和电子)和机械设备集成到单个芯片中的概念被认为是其中一个突破性技术。MEMS技术将能够在微传感器,控制或微致动器的感知和微电子的计算能力的感知来发展智能设备。亚博最新官网网址

MEMS技术在其应用和所涉及的研究领域(物理,电子,电气,化学,材料科学和制造)是MEMS设计和开发的一些分支机构的影响。亚博最新官网网址

2回复

  1. 嗨,我的名字是鲁汶,我在一个项目中工作,我需要一个传感器来检测油和油脂吗?

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